中(zhong)國環境報見習記(ji)者 丁(ding)波 記(ji)者 蔡新華 上海被賦予打(da)造集成(cheng)電路產(chan)業(ye)(ye)高地的重大任務(wu)，隨著產(chan)業(ye)(ye)規模逐步擴(kuo)大，廢酸環境無害化處置成(cheng)為(wei)突出問(wen)題。據了(le)解(jie)，上海通(tong)過 “點對點”資源化定向再利用創新模式已破解(jie)這一(yi)難題。

　　日(ri)前，一輛掛有危險標識的(de)罐裝運輸車穩穩駛入廠區(qu)，公(gong)司(si)專(zhuan)職(zhi)管理員(yuan)引(yin)導車輛，過磅、取(qu)樣、檢驗(yan)、聯單簽收……一系列流(liu)程后(hou)，車被引(yin)導至專(zhuan)用卸車區(qu)，車上的(de)特殊(shu)液(ye)體被接收到(dao)公(gong)司(si)的(de)原料(liao)儲料(liao)罐中，等待用于后(hou)續的(de)生產。

　　這是記者在(zai)(zai)位于金山第二工業(ye)區內(nei)的(de)(de)上(shang)(shang)海澎博(bo)(bo)鈦白粉有限公司(以下簡稱澎博(bo)(bo)公司)看(kan)到的(de)(de)場景。罐裝(zhuang)車內(nei)裝(zhuang)運的(de)(de)是液體硫酸(suan)，它(ta)的(de)(de)特殊性(xing)在(zai)(zai)于是上(shang)(shang)游(you)集(ji)成(cheng)電(dian)路芯片生產(chan)企業(ye)使(shi)用過的(de)(de)廢棄(qi)硫酸(suan)。

　　在現(xian)場，公(gong)司負責人何(he)文龍告訴記者，公(gong)司是上(shang)海市(shi)集成電(dian)路芯(xin)片行業產(chan)生的廢硫酸(suan)資(zi)源化利用(yong)定點(dian)單位，每(mei)天安(an)排專用(yong)車輛將(jiang)廢酸(suan)運回(hui)工廠，經過(guo)嚴(yan)格的檢驗(yan)流程后再投(tou)入到(dao)鈦白(bai)粉生產(chan)當(dang)中，今年1月-7月已處置利用(yong)廢酸(suan)1.5萬(wan)噸。

　　新模式解決行業(ye)發展難題

　　據(ju)上(shang)(shang)海市生態(tai)環境(jing)局相關負(fu)責人介(jie)紹，上(shang)(shang)海首(shou)創的廢硫(liu)酸“點對點”資源化定向再(zai)利(li)用模式(shi)運用逐步(bu)成(cheng)熟，目前已(yi)經全部覆(fu)蓋(gai)了上(shang)(shang)海具備(bei)回(hui)收(shou)廢酸條件的集成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)芯片制造企(qi)業，總體上(shang)(shang)穩定地解決了上(shang)(shang)海集成(cheng)電(dian)路(lu)(lu)芯片制造企(qi)業廢硫(liu)酸處置問題(ti)。

　　據上海市集成(cheng)電(dian)路(lu)行業(ye)協會(hui)(hui)相(xiang)關負責人介紹，集成(cheng)電(dian)路(lu)產業(ye)生產過(guo)程(cheng)中會(hui)(hui)使用大量(liang)濃硫(liu)(liu)酸(suan)，排放以(yi)硫(liu)(liu)酸(suan)物質為主，處理廢(fei)硫(liu)(liu)酸(suan)成(cheng)本很高，同時(shi)會(hui)(hui)存(cun)在(zai)一定(ding)的(de)(de)生態(tai)環境安全風險。這(zhe)個(ge)問題成(cheng)為阻(zu)礙行業(ye)發展(zhan)的(de)(de)難題。

　　直面(mian)痛點(dian)(dian)。在上(shang)(shang)海(hai)市經濟(ji)和(he)信息化委(wei)、上(shang)(shang)海(hai)市生態環境(jing)局等相關(guan)部門的支持下(xia)，上(shang)(shang)海(hai)市固體廢物和(he)化學品管理技(ji)術中心、上(shang)(shang)海(hai)市集成(cheng)(cheng)電路行業(ye)協(xie)會積極探索(suo)，多(duo)次召開(kai)專家研討會論證處置方案，并于2016年開(kai)始由中芯國際和(he)澎博公司開(kai)展廢硫酸“點(dian)(dian)對點(dian)(dian)”資源(yuan)化定向再利(li)用試點(dian)(dian)運行，經過多(duo)輪試點(dian)(dian)驗(yan)證，最終形成(cheng)(cheng)較(jiao)為成(cheng)(cheng)熟的經驗(yan)。

　　去年，上(shang)海市集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)行(xing)業(ye)協會會同多部門專(zhuan)門編寫形(xing)成(cheng)了《鈦白粉用集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)制造行(xing)業(ye)廢硫酸》(T/SICA001-2020)團體標(biao)準，在上(shang)海市質量(liang)技術監(jian)督部門網(wang)站(zhan)和國(guo)家(jia)標(biao)準網(wang)上(shang)進(jin)行(xing)公(gong)示，全力(li)保障(zhang)廢酸源頭質量(liang)的把(ba)控。

　　多維度再利(li)用效益明顯(xian)

　　廢(fei)硫酸(suan)(suan)“點(dian)(dian)對(dui)點(dian)(dian)”資(zi)源化(hua)定向(xiang)再利用(yong)，這一(yi)新模(mo)(mo)式的(de)環境效(xiao)(xiao)(xiao)益(yi)、經(jing)濟效(xiao)(xiao)(xiao)益(yi)和(he)社會效(xiao)(xiao)(xiao)益(yi)都很顯著。相關專家告(gao)訴記者，模(mo)(mo)式的(de)核心是(shi)實現(xian)集成電(dian)路制造過(guo)程中產生(sheng)的(de)廢(fei)硫酸(suan)(suan)替代鈦白粉生(sheng)產工藝(yi)(yi)過(guo)程中用(yong)到的(de)工業硫酸(suan)(suan)。經(jing)過(guo)試點(dian)(dian)驗證(zheng)，這種模(mo)(mo)式技(ji)術可行性很強(qiang)，廢(fei)酸(suan)(suan)再利用(yong)單位在使用(yong)廢(fei)硫酸(suan)(suan)生(sheng)產鈦白粉時，不(bu)需要調(diao)整現(xian)有工藝(yi)(yi)。同時，替用(yong)過(guo)程不(bu)增加額外的(de)環境負擔與風險，不(bu)影響(xiang)產品的(de)質量，符(fu)合“固體廢(fei)物減量化(hua)、資(zi)源化(hua)和(he)無害(hai)化(hua)”原(yuan)則(ze)。

　　談到經濟效益，這(zhe)位專(zhuan)家給記者算(suan)了(le)(le)一筆賬：澎(peng)博(bo)公司再利(li)用(yong)廢(fei)硫酸每(mei)噸(dun)收費(fei)500元，按照上海(hai)市往年廢(fei)硫酸處置費(fei)每(mei)噸(dun)2000元計算(suan)，今年1月至7月，澎(peng)博(bo)公司累計利(li)用(yong)廢(fei)硫酸1.5萬噸(dun)，集(ji)成電路生產(chan)企(qi)(qi)業(ye)(ye)可節約2250萬元。同時，澎(peng)博(bo)公司也節省了(le)(le)購置工業(ye)(ye)濃(nong)硫酸的(de)費(fei)用(yong)，產(chan)廢(fei)企(qi)(qi)業(ye)(ye)和(he)再利(li)用(yong)企(qi)(qi)業(ye)(ye)達到了(le)(le)“雙贏”。

　　此外，新模(mo)式還(huan)符合循環(huan)經濟產(chan)業需(xu)求，不僅解決了(le)(le)廢硫(liu)酸(suan)處置出路難、處置費用(yong)高的(de)難題，降低了(le)(le)企(qi)業生(sheng)產(chan)成本和(he)廢硫(liu)酸(suan)處理費用(yong)，還(huan)促(cu)進了(le)(le)鈦白粉(fen)生(sheng)產(chan)單位的(de)升級改造、精準轉型(xing)和(he)綠色發(fa)展，為日后集成電路產(chan)業的(de)蓬勃發(fa)展鋪(pu)平了(le)(le)道(dao)路。

　　深(shen)入推(tui)進“點對點”資(zi)源化再利用

　　“在探索推行這一新(xin)模式的過程(cheng)中，我們以守(shou)好環境底線(xian)為前提(ti)，做到嚴格把(ba)關，按程(cheng)序推進。”上海市(shi)生態環境局(ju)相(xiang)關負責人介紹(shao)，在前期提(ti)出設想并加以論證的基(ji)礎上，他們于(yu)2016年發文，同意將中芯國際和(he)澎博公司(si)設立為上海市(shi)首個廢硫酸定向(xiang)再(zai)利用(yong)試點單位，利用(yong)芯片廢硫酸生產(chan)鈦白粉(fen)。

　　2019年11月，上海市生態(tai)環境局同意4家企(qi)業(ye)(ye)(ye)廢硫酸(suan)定向(xiang)資(zi)源(yuan)化(hua)再利用備(bei)案(an)。2020年10月，上海市生態(tai)環境局擴大廢硫酸(suan)定向(xiang)資(zi)源(yuan)化(hua)再利用備(bei)案(an)，新增(zeng)4家企(qi)業(ye)(ye)(ye)，全面覆蓋上海市具(ju)備(bei)回收廢酸(suan)條件的集成電路制造企(qi)業(ye)(ye)(ye)。

　　據(ju)介(jie)紹，目前，各(ge)(ge)方進展順利，各(ge)(ge)試點企(qi)業在嚴(yan)格執行危險廢(fei)物各(ge)(ge)項(xiang)(xiang)管理制(zhi)度下，廢(fei)硫(liu)酸源頭品質(zhi)得(de)到保障(zhang)，并委(wei)托(tuo)具有相關運輸資(zi)質(zhi)的(de)單位專(zhuan)人專(zhuan)車(che)進行運輸。澎博公司在廢(fei)酸使用期間，生產(chan)運行穩定，各(ge)(ge)項(xiang)(xiang)污染物排放環(huan)保指標(biao)檢測均符合排放標(biao)準。同時，澎博公司對生產(chan)設備工藝進行優化(hua)改(gai)造(zao)，在末端形成了(le)可(ke)滿足近期集成電路產(chan)業發展需求(qiu)的(de)每年6萬噸廢(fei)硫(liu)酸利用能力。

　　“十四五”期間，上(shang)海(hai)的集(ji)成電路產量將快速增長，需處置(zhi)的廢(fei)硫(liu)酸量也(ye)將隨之增加。據最(zui)新統(tong)計，2020年產生廢(fei)酸1.25萬(wan)噸，2021年預計為2.8萬(wan)噸，到2022年上(shang)海(hai)芯片(pian)企業產生的廢(fei)硫(liu)酸將高達6萬(wan)噸，2025年將達到10萬(wan)噸以(yi)上(shang)。

　　面對這一(yi)形(xing)勢(shi)，上(shang)海(hai)各相關(guan)部門召開會議制定了“提前謀劃改造，形(xing)成需求(qiu)匹配、長久(jiu)穩(wen)定”的(de)廢硫酸(suan)利用(yong)原則(ze)。上(shang)海(hai)市發改委、上(shang)海(hai)市經濟和信(xin)息(xi)化委還(huan)專門組織專家隊伍到資源化綜合利用(yong)企業澎博公司開展(zhan)現場調研，了解情(qing)況，聽取(qu)企業和行(xing)業專家的(de)意見和建(jian)議。

　　作為廢(fei)酸(suan)再利(li)用(yong)定點(dian)企業(ye)，澎(peng)博(bo)公司也啟動了匹配廢(fei)酸(suan)資源(yuan)化利(li)用(yong)技(ji)改規劃(hua)，積極響應(ying)上級部門對澎(peng)博(bo)公司以廢(fei)定產、提(ti)前謀劃(hua)的要求(qiu)，規劃(hua)“集成(cheng)電路行(xing)業(ye)10萬噸廢(fei)酸(suan)資源(yuan)化利(li)用(yong)”技(ji)改。

　　在上海(hai)市人(ren)民政府(fu)近日印發的(de)《上海(hai)市2021-2023年生(sheng)態環(huan)境(jing)保護和建(jian)設三年行動》文(wen)件(jian)上，記者也注意到相(xiang)關條文(wen)：在環(huan)境(jing)可控的(de)前提下，持續推動集成(cheng)(cheng)電(dian)路行業(ye)廢酸(suan)等危險(xian)廢物“點對點”定向資源化利用工(gong)作(zuo)，形(xing)成(cheng)(cheng)穩定的(de)與(yu)集成(cheng)(cheng)電(dian)路行業(ye)未來發展相(xiang)適應(ying)的(de)廢酸(suan)處(chu)置利用能力。

　　據(ju)悉(xi)，未(wei)來，這(zhe)種廢棄硫酸“點對點”資源化定(ding)向再利(li)用模式，將有力保(bao)障我國集成電路行業的(de)發展，也將對其他行業的(de)危險廢物綜合利(li)用起到借(jie)鑒(jian)和引領作用。

來源：中國環境報(bao)