中國環境(jing)(jing)報(bao)見習記(ji)者 丁(ding)波 記(ji)者 蔡(cai)新華 上(shang)海被賦(fu)予打造集成(cheng)電路產業(ye)高地(di)的重(zhong)大任(ren)務，隨著產業(ye)規模(mo)逐步擴(kuo)大，廢酸環境(jing)(jing)無害化處(chu)置成(cheng)為突(tu)出問題。據(ju)了解，上(shang)海通過 “點(dian)對點(dian)”資源化定向再利用創新模(mo)式已(yi)破(po)解這一(yi)難題。

　　日前，一(yi)輛掛(gua)有(you)危險標識的罐裝運(yun)輸車(che)(che)穩(wen)穩(wen)駛入(ru)廠區(qu)，公司專職管理員引導車(che)(che)輛，過(guo)磅(bang)、取樣、檢(jian)驗、聯單(dan)簽(qian)收(shou)……一(yi)系列流(liu)程后，車(che)(che)被(bei)引導至專用卸(xie)車(che)(che)區(qu)，車(che)(che)上的特(te)殊液體(ti)被(bei)接收(shou)到(dao)公司的原料(liao)儲(chu)料(liao)罐中，等(deng)待用于(yu)后續的生產。

　　這是記者在位(wei)于(yu)金山第二工業區內的上海澎博鈦白粉有(you)限公(gong)司(以下簡稱澎博公(gong)司)看(kan)到的場景。罐(guan)裝(zhuang)車(che)內裝(zhuang)運的是液體硫(liu)酸，它的特殊性在于(yu)是上游集(ji)成電路芯片生產企(qi)業使用(yong)過(guo)的廢棄硫(liu)酸。

　　在(zai)現(xian)場(chang)，公司負責人何(he)文龍告訴記者，公司是上海市集成電路芯片(pian)行業(ye)產(chan)生的(de)廢硫酸(suan)資源化(hua)利(li)用定點單位，每天安排專(zhuan)用車輛將廢酸(suan)運回(hui)工廠，經過嚴(yan)格的(de)檢(jian)驗流(liu)程后再投入(ru)到(dao)鈦白粉生產(chan)當(dang)中，今(jin)年1月-7月已處置(zhi)利(li)用廢酸(suan)1.5萬噸。

　　新模式解決行業發展難題

　　據上(shang)(shang)海(hai)市(shi)生態環境(jing)局相關負責人介紹，上(shang)(shang)海(hai)首創(chuang)的廢硫酸“點對點”資源化定向再利用模(mo)式運用逐(zhu)步成(cheng)(cheng)熟，目前已經全部覆蓋了(le)上(shang)(shang)海(hai)具備(bei)回收廢酸條件的集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路芯片制(zhi)造企業，總體上(shang)(shang)穩定地解(jie)決了(le)上(shang)(shang)海(hai)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路芯片制(zhi)造企業廢硫酸處置問題。

　　據(ju)上(shang)海(hai)市(shi)集(ji)成(cheng)電路行(xing)業協會相關負責人介紹(shao)，集(ji)成(cheng)電路產業生產過(guo)程中會使用大量濃(nong)硫酸，排(pai)放以(yi)硫酸物質為主(zhu)，處理(li)廢硫酸成(cheng)本很高，同時會存在一定(ding)的生態環境安全風險(xian)。這個問題(ti)成(cheng)為阻礙行(xing)業發展的難題(ti)。

　　直面痛點。在上海(hai)(hai)市(shi)(shi)經濟和(he)信息化(hua)(hua)委、上海(hai)(hai)市(shi)(shi)生態(tai)環境(jing)局(ju)等相關部門的支(zhi)持下，上海(hai)(hai)市(shi)(shi)固體(ti)廢物和(he)化(hua)(hua)學品管理技術中心、上海(hai)(hai)市(shi)(shi)集成電路行(xing)業協(xie)會(hui)積極探索(suo)，多次召(zhao)開專家研討會(hui)論證處(chu)置方案，并(bing)于2016年開始由(you)中芯國際和(he)澎博公司開展(zhan)廢硫(liu)酸“點對點”資(zi)源(yuan)化(hua)(hua)定向再利(li)用試(shi)(shi)點運行(xing)，經過多輪(lun)試(shi)(shi)點驗證，最終形成較為成熟的經驗。

　　去年，上(shang)海市集(ji)成電路行(xing)業(ye)協會會同多(duo)部(bu)門(men)(men)(men)專門(men)(men)(men)編寫形成了《鈦白粉用集(ji)成電路制造行(xing)業(ye)廢(fei)硫酸》(T/SICA001-2020)團體(ti)標準，在上(shang)海市質量(liang)技術監督部(bu)門(men)(men)(men)網站和國家標準網上(shang)進(jin)行(xing)公(gong)示，全力(li)保障廢(fei)酸源頭質量(liang)的把控。

　　多(duo)維度再利用效益明顯

　　廢硫酸“點對點”資源(yuan)(yuan)化(hua)定向(xiang)再利(li)(li)用(yong)，這(zhe)一(yi)新模(mo)式的(de)環(huan)境(jing)效(xiao)益、經(jing)濟效(xiao)益和(he)社(she)會效(xiao)益都很顯著。相關專家告訴記者，模(mo)式的(de)核心是實(shi)現(xian)集成電(dian)路制造(zao)過(guo)程(cheng)中產(chan)生的(de)廢硫酸替(ti)(ti)代鈦白粉生產(chan)工(gong)藝(yi)過(guo)程(cheng)中用(yong)到的(de)工(gong)業硫酸。經(jing)過(guo)試點驗證，這(zhe)種(zhong)模(mo)式技術可行性(xing)很強(qiang)，廢酸再利(li)(li)用(yong)單位在使用(yong)廢硫酸生產(chan)鈦白粉時，不(bu)(bu)需要調整現(xian)有工(gong)藝(yi)。同(tong)時，替(ti)(ti)用(yong)過(guo)程(cheng)不(bu)(bu)增加額外的(de)環(huan)境(jing)負擔與風險(xian)，不(bu)(bu)影響產(chan)品的(de)質(zhi)量，符(fu)合(he)“固體廢物減量化(hua)、資源(yuan)(yuan)化(hua)和(he)無害化(hua)”原則。

　　談到經濟效益(yi)，這位(wei)專家給記者算了一(yi)筆賬：澎博(bo)公司(si)再利用(yong)廢(fei)硫(liu)酸每(mei)噸(dun)(dun)收費(fei)500元(yuan)，按照(zhao)上海(hai)市往年(nian)廢(fei)硫(liu)酸處置費(fei)每(mei)噸(dun)(dun)2000元(yuan)計算，今年(nian)1月(yue)至(zhi)7月(yue)，澎博(bo)公司(si)累計利用(yong)廢(fei)硫(liu)酸1.5萬噸(dun)(dun)，集成(cheng)電路生產企(qi)業(ye)可節約2250萬元(yuan)。同時(shi)，澎博(bo)公司(si)也節省(sheng)了購置工業(ye)濃硫(liu)酸的費(fei)用(yong)，產廢(fei)企(qi)業(ye)和(he)再利用(yong)企(qi)業(ye)達(da)到了“雙贏”。

　　此外，新模(mo)式還(huan)符合循(xun)環經(jing)濟產業需求，不僅解決了廢硫(liu)酸處置(zhi)出(chu)路(lu)難(nan)、處置(zhi)費(fei)用高的(de)難(nan)題(ti)，降低了企業生產成本和廢硫(liu)酸處理費(fei)用，還(huan)促進了鈦白粉生產單位的(de)升(sheng)級改(gai)造(zao)、精準轉(zhuan)型(xing)和綠色發展(zhan)(zhan)，為日后集成電路(lu)產業的(de)蓬勃發展(zhan)(zhan)鋪平了道路(lu)。

　　深(shen)入推(tui)進“點(dian)對點(dian)”資源化再利用(yong)

　　“在探索(suo)推(tui)行(xing)這一新模式的(de)過程中，我(wo)們(men)以(yi)守好環境底線為前(qian)提，做到嚴格把關，按程序推(tui)進。”上海(hai)市生態環境局相(xiang)關負責人(ren)介(jie)紹，在前(qian)期提出設(she)想(xiang)并加以(yi)論證的(de)基礎上，他們(men)于2016年發文(wen)，同(tong)意將中芯(xin)國際和澎博公司設(she)立(li)為上海(hai)市首(shou)個廢硫酸定向再(zai)利(li)用(yong)試點單位，利(li)用(yong)芯(xin)片(pian)廢硫酸生產鈦白粉。

　　2019年(nian)11月，上海(hai)市(shi)生態環(huan)境局同(tong)意4家企業廢硫酸(suan)定向(xiang)資源(yuan)化(hua)再利(li)用(yong)備(bei)(bei)案。2020年(nian)10月，上海(hai)市(shi)生態環(huan)境局擴(kuo)大廢硫酸(suan)定向(xiang)資源(yuan)化(hua)再利(li)用(yong)備(bei)(bei)案，新增4家企業，全(quan)面覆蓋上海(hai)市(shi)具(ju)備(bei)(bei)回(hui)收廢酸(suan)條件的集成電路制造企業。

　　據介紹，目前，各方進展順利(li)，各試(shi)點企業(ye)在(zai)嚴(yan)格執行(xing)危險廢物各項(xiang)管理(li)制(zhi)度下，廢硫(liu)酸源(yuan)頭品質得(de)到保障，并委托具有相關(guan)運輸資質的(de)單位(wei)專人專車進行(xing)運輸。澎博公(gong)司在(zai)廢酸使用期(qi)間，生(sheng)產(chan)運行(xing)穩(wen)定，各項(xiang)污染(ran)物排(pai)放環(huan)保指標檢測均(jun)符(fu)合排(pai)放標準。同時(shi)，澎博公(gong)司對生(sheng)產(chan)設(she)備工藝進行(xing)優(you)化改造，在(zai)末(mo)端形成了可滿足(zu)近期(qi)集成電路產(chan)業(ye)發展需求的(de)每年6萬噸廢硫(liu)酸利(li)用能力。

　　“十四五”期間，上海的(de)集成電路(lu)產量將(jiang)(jiang)快(kuai)速增長，需處置的(de)廢(fei)硫酸(suan)量也(ye)將(jiang)(jiang)隨之增加(jia)。據最新統計，2020年(nian)產生廢(fei)酸(suan)1.25萬(wan)噸，2021年(nian)預計為2.8萬(wan)噸，到2022年(nian)上海芯片企(qi)業產生的(de)廢(fei)硫酸(suan)將(jiang)(jiang)高達6萬(wan)噸，2025年(nian)將(jiang)(jiang)達到10萬(wan)噸以上。

　　面對這一形勢，上海各相關(guan)部門召開(kai)會議制(zhi)定了(le)“提前謀劃改造，形成需求匹配、長久穩定”的廢硫酸利(li)用原則。上海市發改委、上海市經濟和信(xin)息化委還專(zhuan)門組織(zhi)專(zhuan)家隊伍到資源化綜合利(li)用企(qi)業(ye)澎(peng)博公司開(kai)展(zhan)現場調研，了(le)解情(qing)況，聽(ting)取企(qi)業(ye)和行業(ye)專(zhuan)家的意(yi)見和建議。

　　作為廢(fei)(fei)酸再利(li)(li)用定(ding)點企業，澎(peng)博(bo)公司也啟(qi)動了匹配廢(fei)(fei)酸資(zi)源化利(li)(li)用技(ji)改(gai)規(gui)劃，積極響(xiang)應上級部門對澎(peng)博(bo)公司以廢(fei)(fei)定(ding)產、提前(qian)謀(mou)劃的要求(qiu)，規(gui)劃“集成電(dian)路行業10萬噸廢(fei)(fei)酸資(zi)源化利(li)(li)用”技(ji)改(gai)。

　　在上海市(shi)人(ren)民政府近(jin)日(ri)印發(fa)的(de)《上海市(shi)2021-2023年生態(tai)環境保(bao)護和建設三年行(xing)動》文件上，記者也注意(yi)到(dao)相關(guan)條(tiao)文：在環境可控的(de)前提下(xia)，持續(xu)推動集(ji)成電(dian)路(lu)行(xing)業廢(fei)酸等危(wei)險(xian)廢(fei)物(wu)“點(dian)對(dui)點(dian)”定向資(zi)源化利用工作，形成穩定的(de)與集(ji)成電(dian)路(lu)行(xing)業未來發(fa)展(zhan)相適應的(de)廢(fei)酸處置利用能力。

　　據悉，未來，這種(zhong)廢(fei)棄硫酸“點對點”資(zi)源(yuan)化定向再利(li)用(yong)模式(shi)，將有力保障(zhang)我國集成電(dian)路(lu)行(xing)業的發展，也將對其他行(xing)業的危(wei)險廢(fei)物綜合利(li)用(yong)起到借鑒和(he)引領(ling)作用(yong)。

來源(yuan)：中國(guo)環(huan)境報(bao)